Multi-energy-field induced atomic scale numerical control machining device and method in environmental atmosphere

WO2024250882 Art A1 12. Dezember 2024

Anmelder: ZHEJIANG UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024250882
Aktenzeichen: EP24818416
Anmeldetag: 30. April 2024
Veröffentlichung: 12. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00B81C3/00B82B3/00H01L21/302H01L21/30H01L21/18H01L21/04H01L21/02H01L21/00G01Q60/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ZHEJIANG UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Zhejiang University

Chinesische Universität mit Sitz in Hangzhou, eine der führenden Forschungshochschulen Chinas mit breitem Fächerspektrum einschließlich Ingenieurwissenschaften und Materialforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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