Method for controlling and cleaning a pellicle membrane

WO2024251470 Art A1 12. Dezember 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024251470
Aktenzeichen: EP24725358
Anmeldetag: 14. Mai 2024
Veröffentlichung: 12. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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