Seed laser system

WO2024251482 Art A1 12. Dezember 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SE 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024251482
Aktenzeichen: EP24726257
Anmeldetag: 15. Mai 2024
Veröffentlichung: 12. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00H01S3/10H01S3/107H01S3/23H01S3/223

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SE
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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