System for and method of calibrating measurement of duv laser beam spectral properties

WO2024252235 Art A1 12. Dezember 2024

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024252235
Aktenzeichen: EP24734101
Anmeldetag: 30. Mai 2024
Veröffentlichung: 12. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H01S3/13

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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