Gas laser apparatus and method for manufacturing electronic device

WO2024252498 Art A1 12. Dezember 2024

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024252498
Aktenzeichen: EP23940605
Anmeldetag: 5. Juni 2023
Veröffentlichung: 12. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/106G02B26/02G02B26/08G03F7/20H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von