Resist composition and resist pattern formation method

WO2024253168 Art A1 12. Dezember 2024

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024253168
Aktenzeichen
EP24819396
Anmeldetag
6. Juni 2024
Veröffentlichung
12. Dezember 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C07D317/22C07D333/76C08F20/26G03F7/20G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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