Hochpräzise In-Situ-Verifikation und Korrektur der Waferposition und -Ausrichtung für ein Ionenimplantat

WO2024254409 Art A1 12. Dezember 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024254409
Aktenzeichen: EP24820096
Anmeldetag: 7. Juni 2024
Veröffentlichung: 12. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/68H01J37/20H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von