Verfahren und Steuervorrichtung zum Herstellen eines Optischen Systems für eine Lithographieanlage

WO2024256039 Art A1 19. Dezember 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024256039
Aktenzeichen: EP24702084
Anmeldetag: 24. Januar 2024
Veröffentlichung: 19. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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