Verfahren zum Herstellen eines Spiegelsubstrats eines Optischen Elements, Optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage

WO2024256356 Art A1 19. Dezember 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024256356
Aktenzeichen: EP24732616
Anmeldetag: 10. Juni 2024
Veröffentlichung: 19. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C03C27/06C03B23/22C03C27/10G02B7/182G03F7/00C03C29/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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