Defect inspecting device, and defect inspecting method

WO2024257331 Art A1 19. Dezember 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION, HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024257331
Aktenzeichen
EP23941633
Anmeldetag
16. Juni 2023
Veröffentlichung
19. Dezember 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/956G02B5/00G01B11/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

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