Sensor for monitoring lateral etching

WO2024263738 Art A1 26. Dezember 2024

Anmelder: INFICON, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024263738
Aktenzeichen: EP24826619
Anmeldetag: 20. Juni 2024
Veröffentlichung: 26. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L29/06H01L21/302H03H9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INFICON, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

283 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von