Verfahren zum Verringern von Aberrationen eines Optischen Elements, Optisches Element und Anlage der Halbleitertechnologie

WO2025002947 Art A1 2. Januar 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025002947
Aktenzeichen: EP24735224
Anmeldetag: 19. Juni 2024
Veröffentlichung: 2. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01M11/02G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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