Method and apparatus for improving accuracy of soft x-ray metrology

WO2025008150 Art A1 9. Januar 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025008150
Aktenzeichen: EP24732694
Anmeldetag: 13. Juni 2024
Veröffentlichung: 9. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G01N21/956G02F1/37H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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