Mirror assembly, illumination optical unit having a mirror assembly, illumination system having such an illumination optical unit and projection exposure apparatus having such an illumination system

WO2025008214 Art A1 9. Januar 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025008214
Aktenzeichen: EP24737368
Anmeldetag: 24. Juni 2024
Veröffentlichung: 9. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B5/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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