Heteroepitaxial wafer and method for manufacturing same
WO2025009407
Art A1
9. Januar 2025
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025009407
- Aktenzeichen
- EP24835920
- Anmeldetag
- 20. Juni 2024
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/20C23C16/42H01L21/205H10D30/01H10D30/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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