Heteroepitaxial wafer and method for manufacturing same

WO2025009407 Art A1 9. Januar 2025

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025009407
Aktenzeichen
EP24835920
Anmeldetag
20. Juni 2024
Veröffentlichung
9. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20C23C16/42H01L21/205H10D30/01H10D30/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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