System for and method of calibrating measurement of laser beam spectral linewidth

WO2025012718 Art A1 16. Januar 2025

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025012718
Aktenzeichen: EP24735314
Anmeldetag: 11. Juni 2024
Veröffentlichung: 16. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/225G03F7/00G01J9/02G01J3/02G01J3/26G01J3/28G01J1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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