Laser annealing apparatus and laser annealing method

WO2025013431 Art A1 16. Januar 2025

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025013431
Aktenzeichen
EP24839328
Anmeldetag
22. Mai 2024
Veröffentlichung
16. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20H01L21/268
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V TECHNOLOGY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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