Metallgetter in Verdampfern zur Entfernung von Verunreinigungen

WO2025015102 Art A1 16. Januar 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025015102
Aktenzeichen
EP24840509
Anmeldetag
10. Juli 2024
Veröffentlichung
16. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/448C23C16/455C23C16/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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