Extreme ultraviolet photoresist performance testing apparatus and method

WO2025015644 Art A1 23. Januar 2025

Anmelder: SOUTHERN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025015644
Aktenzeichen: EP23945529
Anmeldetag: 4. August 2023
Veröffentlichung: 23. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/04G03F1/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SOUTHERN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Southern University of Science and Technology

Die Southern University of Science and Technology ist eine staatliche Universität in Shenzhen, China. Ihr Patentportfolio verteilt sich breit über Software, Halbleitertechnik, Messtechnik, Medizintechnik und organische Chemie und spiegelt ein multidisziplinäres Forschungsprofil wider. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2015 bis 2025.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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