Manufacturing apparatus and method for manufacturing oxide semiconductor layer

WO2025017415 Art A1 23. Januar 2025

Anmelder: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025017415
Aktenzeichen
EP24842513
Anmeldetag
8. Juli 2024
Veröffentlichung
23. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C14/08C23C14/34C23C16/40C23C16/455H01L21/203H01L21/265H01L21/477
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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