Optical foreign matter inspection device and program

WO2025017788 Art A1 23. Januar 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025017788
Aktenzeichen
EP23945793
Anmeldetag
14. Juli 2023
Veröffentlichung
23. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/84G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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