Imaging apparatus, substrate processing apparatus, and imaging method

WO2025018030 Art A1 23. Januar 2025

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025018030
Aktenzeichen: EP24842826
Anmeldetag: 27. Mai 2024
Veröffentlichung: 23. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H04N23/66G01N21/956H01L21/66H04N23/60H04N23/698

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

1.641 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation

Vertreten von