Niobium, vanadium, tantalum film-forming compositions and deposition of group 5 metal-containing films using the same

WO2025019304 Art A1 23. Januar 2025

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L' EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025019304
Aktenzeichen: EP24843738
Anmeldetag: 12. Juli 2024
Veröffentlichung: 23. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C07F9/00C23C16/34H01L21/02H01L21/31H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L' EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von