Thermische Dampfphasenätzung von Metalloxiden

WO2025021779 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025021779
Aktenzeichen: EP24749154
Anmeldetag: 23. Juli 2024
Veröffentlichung: 30. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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