Ansteuervorrichtung, Optisches System und Lithographieanlage

WO2025021992 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025021992
Aktenzeichen: EP24749209
Anmeldetag: 26. Juli 2024
Veröffentlichung: 30. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08H02N2/06G03F7/00H02M1/00H02M3/158H03F3/217G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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