Systems and methods for depositing metal

WO2025024023 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025024023
Aktenzeichen: EP24846164
Anmeldetag: 18. April 2024
Veröffentlichung: 30. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/35C23C14/34C23C14/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von