Dry development for metal-oxide photoresists

WO2025024049 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025024049
Aktenzeichen: EP24846178
Anmeldetag: 4. Juni 2024
Veröffentlichung: 30. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20G03F7/26C07F7/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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