Grundplatte zur Unterstützung eines Retikels und Zugehörige Systeme und Verfahren

WO2025024050 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025024050
Aktenzeichen
EP24846179
Anmeldetag
4. Juni 2024
Veröffentlichung
30. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/84G01N21/94G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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