Dielectric spectroscopy temperature monitoring using electrostatic chuck

WO2025029743 Art A1 6. Februar 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025029743
Aktenzeichen: EP24849950
Anmeldetag: 29. Juli 2024
Veröffentlichung: 6. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/00G01J5/60G01J3/28H01L21/67H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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