Position detection apparatus, semiconductor device, and method for measuring offset of substrate

WO2025031017 Art A1 13. Februar 2025

Anmelder: CLEANCHIP TECHNOLOGIES LIMITED, ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC., ACM RESEARCH KOREA CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025031017
Aktenzeichen: EP24850669
Anmeldetag: 13. Juni 2024
Veröffentlichung: 13. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CLEANCHIP TECHNOLOGIES LIMITED
ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC.
ACM RESEARCH KOREA CO., LTD.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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