Radiation-sensitive composition, method for forming pattern, and onium salt

WO2025033056 Art A1 13. Februar 2025

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025033056
Aktenzeichen: EP24851486
Anmeldetag: 8. Juli 2024
Veröffentlichung: 13. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C07C63/04C07C65/21C07C255/56C07C317/14C07D207/34C07D209/30C07D209/88C07D307/56C07D307/79C07D307/88C07D317/22C07D317/62C07D317/72C07D333/28C07D333/62G03F7/20G03F7/038G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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