Charged particle beam sensor and measurement data processing method therefor

WO2025033094 Art A1 13. Februar 2025

Anmelder: RIKEN 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025033094
Aktenzeichen
EP24851523
Anmeldetag
11. Juli 2024
Veröffentlichung
13. Februar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01T1/29
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
RIKEN
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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