Method for calibrating optical inspection device, and method for manufacturing reflection-type mask blank

WO2025033114 Art A1 13. Februar 2025

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025033114
Aktenzeichen: EP24851543
Anmeldetag: 16. Juli 2024
Veröffentlichung: 13. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/93G01N21/956G03F1/24G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von