Wafer debonding method
WO2025033957
Art A1
13. Februar 2025
Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025033957
- Aktenzeichen
- EP24852311
- Anmeldetag
- 7. August 2024
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/67H01L21/268B23K26/53B23K26/402B23K101/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Institute of Machinery & Materials
Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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