Ion implantation method and related systems
WO2025034675
Art A1
13. Februar 2025
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025034675
- Aktenzeichen
- EP24852677
- Anmeldetag
- 5. August 2024
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/08H01J27/08H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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