Substrate equipped with multilayer reflective film, method for manufacturing substrate equipped with multilayer reflective film, reflective mask blank, reflective mask, and method for manufacturing reflective mask
WO2025037533
Art A1
20. Februar 2025
Anmelder: AGC INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025037533
- Aktenzeichen
- EP24854124
- Anmeldetag
- 30. Juli 2024
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/24G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AGC INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
AGC (Asahi Glass)
Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.
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