Metal sputtering target, metal sputtering target structure, method for producing film using same, and method for producing metal sputtering target

WO2025037642 Art A1 20. Februar 2025

Anmelder: TOSOH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025037642
Aktenzeichen
EP24854230
Anmeldetag
15. August 2024
Veröffentlichung
20. Februar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOSOH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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