Hybrid x-ray and optical metrology and navigation

WO2025038176 Art A1 20. Februar 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025038176
Aktenzeichen: EP24854594
Anmeldetag: 18. Juni 2024
Veröffentlichung: 20. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/083G01N23/04G01N23/20008G01N23/223G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von