Selective deposition of aluminum-containing dielectric material on dielectric over metal utilizing alkynes

WO2025038887 Art A1 20. Februar 2025

Anmelder: VERSUM MATERIALS US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025038887
Aktenzeichen: EP24765880
Anmeldetag: 15. August 2024
Veröffentlichung: 20. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: VERSUM MATERIALS US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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