Verfahren zum Überarbeiten eines Optischen Elements, sowie Optisches Element und Optisches System

WO2025040426 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025040426
Aktenzeichen: EP24759071
Anmeldetag: 6. August 2024
Veröffentlichung: 27. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B13/14G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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