Method for forming protective film on outer peripheral part including bevel part of substrate

WO2025041381 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: EBARA CORPORATION, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKAI NATIONAL HIG 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025041381
Aktenzeichen: EP24856077
Anmeldetag: 8. Mai 2024
Veröffentlichung: 27. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31C23C16/27C30B33/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: EBARA CORPORATION
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKAI NATIONAL HIG
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.512 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System

Die National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System ist ein japanischer Hochschulverbund mit medizinischem und naturwissenschaftlichem Forschungsschwerpunkt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Pharma-/Biotechnologie und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2019 bis 2025 reichen von Osteogenese-Fördermitteln bis zu Polymer-Elektrolytmembranen.

619 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von