Correction member for depth sensor, substrate processing device, and calibration method for depth sensor

WO2025041389 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025041389
Aktenzeichen: EP24856085
Anmeldetag: 16. Mai 2024
Veröffentlichung: 27. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01S7/497G01C3/00G01C3/06G01S7/481H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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