Optical device, exposure device, and exposure method

WO2025041401 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025041401
Aktenzeichen: EP24856096
Anmeldetag: 29. Mai 2024
Veröffentlichung: 27. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/00G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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