Pulse generation circuit, board processing device, and energy regeneration method

WO2025041631 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSIT, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025041631
Aktenzeichen
EP24856322
Anmeldetag
8. August 2024
Veröffentlichung
27. Februar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H03K3/53H02M9/04H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSIT
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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