Fast switching gas circuits and processing chambers, and related methods and apparatus, for gas stabilization

WO2025042488 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025042488
Aktenzeichen: EP24856973
Anmeldetag: 2. Juli 2024
Veröffentlichung: 27. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/14C30B25/16H01L21/67C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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