Acoustic monitoring for process reliability during polishing

WO2025042521 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025042521
Aktenzeichen: EP24856979
Anmeldetag: 18. Juli 2024
Veröffentlichung: 27. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/005B24B49/00B24B37/02B24B37/04B24B57/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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