Recommender systems and methods for autonomous mode selection in inspection and other tools

WO2025042796 Art A1 27. Februar 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025042796
Aktenzeichen
EP24857121
Anmeldetag
18. August 2024
Veröffentlichung
27. Februar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01N21/95G06T7/00G06N3/092
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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