Inspection apparatus, wedge system for reducing aberrations, and method of fabrication thereof

WO2025045510 Art A1 6. März 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025045510
Aktenzeichen: EP24752044
Anmeldetag: 2. August 2024
Veröffentlichung: 6. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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