Irradiation optical system and defect inspection device provided therewith

WO2025046829 Art A1 6. März 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025046829
Aktenzeichen: EP23950775
Anmeldetag: 31. August 2023
Veröffentlichung: 6. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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