Method of determining a positioning correction for a lithographic process

WO2025051465 Art A1 13. März 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025051465
Aktenzeichen: EP24752390
Anmeldetag: 2. August 2024
Veröffentlichung: 13. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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